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當(dāng)前位置：深圳市中圖儀器股份有限公司>>激光測(cè)量?jī)x>>激光干涉儀>> SJ6000機(jī)床激光干涉儀
一、產(chǎn)品介紹
機(jī)床激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
三、機(jī)床激光干涉儀產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
主要鏡組圖
其中，線(xiàn)性鏡組為標(biāo)配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
四、配件與證書(shū)
序號(hào) | 名稱(chēng) | 明細(xì) | 備注 |
1 | SJ6000主機(jī) | 1臺(tái)，配云臺(tái)、電源適配器 | 標(biāo)配 |
2 | 通用三腳架 | 1個(gè)，配便攜包 | |
3 | 筆記本電腦 | 1臺(tái)，配測(cè)量軟件 | |
4 | 環(huán)境補(bǔ)償單元 | 環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)：1個(gè)，內(nèi)置空氣濕度和大氣壓力傳感器 | |
空氣溫度探頭：1個(gè)，線(xiàn)長(zhǎng)5米 | |||
材料溫度探頭：3個(gè)，線(xiàn)長(zhǎng)5米 | |||
5 | 標(biāo)配附件 | USB線(xiàn)2根 | |
水平儀1個(gè)，磁性表座2個(gè) | |||
輔助安裝塊1塊，安裝柱4節(jié) | |||
6 | 線(xiàn)性鏡組 | 線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡，各1個(gè)；夾緊孔座2個(gè) | |
7 | 便攜式拉桿箱 | 1個(gè)，外尺寸：613mm×460mm×230mm | |
8 | 三坐標(biāo)測(cè)頭夾具 | 1套 | 選配 |
9 | 對(duì)角線(xiàn)測(cè)量套裝 | 1套 | 選配 |
10 | 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 | 1個(gè) | 選配 |
11 | 輕型線(xiàn)性鏡組 | 小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個(gè) | 選配 |
12 | 角度鏡組 | 角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
13 | 平面度鏡組 | 180mm、360mm可調(diào)基板，各1個(gè)；平面度旋轉(zhuǎn)鏡2個(gè) | 選配 |
14 | 短直線(xiàn)度鏡組 | 短距離直線(xiàn)度干涉鏡、短距離直線(xiàn)度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
15 | 長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組 | 長(zhǎng)距離直線(xiàn)度干涉鏡、長(zhǎng)距離直線(xiàn)度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
16 | 直線(xiàn)度附件 | 大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡、底座、M8接頭，各1個(gè) | 選配 |
17 | 垂直度鏡組 | 光學(xué)直角尺、90°轉(zhuǎn)向鏡輔助安裝塊，各1個(gè) | 選配 |
18 | 自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái) | 1臺(tái)，配卡盤(pán)、USB數(shù)據(jù)線(xiàn)、電源適配器、藍(lán)牙工具 | 選配 |
19 | 正交觸發(fā)盒 | 1臺(tái)，配電源適配器、觸發(fā)數(shù)據(jù)線(xiàn) | 選配 |
20 | 工作服 | 夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服，各1件 | 選配 |
五、注意事項(xiàng)
對(duì)角線(xiàn)測(cè)量套裝配置需求：對(duì)角線(xiàn)測(cè)量套裝＋可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡
平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線(xiàn)度鏡組即可
短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組
直線(xiàn)度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線(xiàn)度測(cè)量和垂直度測(cè)量
